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内容简介 真空镀膜电源,PVD镀膜电源,HIPIMS电源,高功率电源
HIPIMS电源属于高功率脉冲磁控溅射电源的一种,通过降低占空比到10%,在相同功率情况下,可以使得磁控溅射峰值电流大幅度的增加,HIPIMS电源可调参数多,即使在相同占空比下,针对不同靶材,其脉冲宽度,占空比,靶电压与峰值电流都会出现不同的特性,想了解更多关于HIPIMS电源,记得点赞关注哦!
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